等離子刻蝕是太（tài）陽能電池片（piàn）的生產工藝流程之一，其（qí）他（tā）流程有矽片（piàn）檢測、表麵製（zhì）絨及酸洗、擴（kuò）散製結、去磷矽玻（bō）璃、鍍減反射膜、絲網印刷、快速（sù）燒結等。東莞市99色在线观看真空科技有限公司旗下的真空（kōng）係（xì）統在等離子刻（kè）蝕中（zhōng）的應用（yòng）是陽能電池片製造企（qǐ）業所采用的，因為99色在线观看（kè）真空係統具有真空度高（gāo）、性能穩定、壽命長、操作簡單維護方便，噪音少等特點。

我們先來了解一下等離子刻蝕是一（yī）個什麽（me）樣的過程。

由於在擴散過程中，即使（shǐ）采用背靠背擴（kuò）散，矽片的（de）所有表麵包（bāo）括邊緣都將不可避免地（dì）擴散上磷。PN結的正麵所收集到的光生電子會沿著邊緣擴散有磷（lín）的區域流到PN結的背麵，而（ér）造成短路。因此，必須對太陽能電池周（zhōu）邊的摻雜矽進（jìn）行刻蝕，以去（qù）除電池邊緣的PN結。通常（cháng）采用等離子刻蝕技術完成這一工藝。等離子（zǐ）刻蝕（shí）是在低壓狀態下，反應氣（qì）體CF4的母體分子在射頻功率的激發下，產生電離並形成等離（lí）子體。等離子體是由帶（dài）電的電子和離（lí）子組成，反應腔體中的氣體在電子的撞擊（jī）下，除了轉變成離子外，還（hái）能吸收能量並形成大量的活（huó）性基團。活性反（fǎn）應基團由於擴散或者在電場作用下到達SiO2表麵（miàn），在那裏與被刻蝕材料表麵發生化學反應，並形成揮發性的（de）反應生（shēng）成物（wù）脫離（lí）被刻蝕物質表麵，被真空係統抽出腔體。

等離子刻（kè）蝕機結構主要包括預真空室、刻蝕腔、供氣係統（tǒng）和真空係統四部（bù）分。

1.預真空室

預真空室（shì）的作用是確保刻蝕腔內維持在設（shè）定的真空度，不受外界環境（如：粉塵、水汽）的影響，將危險性氣（qì）體與潔淨廠房隔離開來。它由蓋板、機械手、傳動機構、隔離門等組成。

2.刻蝕腔體

刻蝕腔體是ICP 刻蝕設備的（de）核心結構，它對刻蝕速率、刻蝕的垂直度以及粗（cū）糙度都有直接的影響。刻蝕腔的主要組成有：上電極、ICP 射頻單元、RF 射頻單（dān）元、下電極係統、控溫係統等組成。

3.供氣（qì）係統

供氣係統是向刻蝕腔體輸送各種刻蝕氣體，通過壓力控製器（PC）和質量流量控製器（MFC）精準的控製氣體的流速和（hé）流量。氣體供應係統由氣源瓶、氣體輸送管道、控製係統、混（hún）合（hé）單元等組成。

4.真空係統

真空係統有兩套，分別（bié）用於預真空室和刻蝕腔體。預真空室由機（jī）械泵單獨抽真空，隻有在預真空室真（zhēn）空度達（dá）到設定值時，才能打開隔（gé）離門，進（jìn）行傳送片。刻蝕腔體的真空由機（jī）械泵和（hé）分子（zǐ）泵共同提供，刻蝕腔體反應生成的氣體（tǐ）也由真空係統排空。

99色在线观看（kè）真空係統在等離子（zǐ）刻（kè）蝕中的應用的作用是可以除去太陽（yáng）電池周邊的在擴散工藝中在矽片的表麵和周邊都擴散了N型結（jié），如果不去除周邊N型結會導致電池（chí）片正負極被周邊N型結連（lián）接起來時電池正負極相通（tōng）起不到電（diàn）池的作用。如果矽片未刻蝕或刻蝕不淨沒及時發現並下傳印刷將產生低並組（zǔ）片。我們可以通過紅外熱成像儀檢測並判斷低並組是否由刻蝕原因產生的。