真空係（xì）統在掃描電鏡中的應用，掃描電鏡（jìng）被廣泛的應用在半導體、實驗室等領域。掃描電鏡也是借助高真空係統（tǒng）。電（diàn）鏡的高真空係統是有分子泵和前級泵組（zǔ）成，分子泵一（yī）般采用脂潤（rùn）滑或磁懸浮的分子泵，前級泵（bèng）是采用雙級油旋片真空泵，或無油渦旋泵作為前級泵。前級泵是輔助分子泵運行的，前級泵先將腔（qiāng）體抽到10pa以後再啟動分子泵。分（fèn）子泵（bèng）啟動後再將係統抽到-3pa~-4pa左右。

掃描電子顯微鏡，是自上（shàng）世紀（jì）60年代作為商用電鏡麵世以來迅速發展起來的（de）一種新型的電子光學儀器，被廣（guǎng）泛地應用於化學、生物、醫學、冶金（jīn）、材料、半導體製造、微電路檢查等各個研究（jiū）領域（yù）和工業部門。

在材料領域中（zhōng），掃描電鏡技術發揮著（zhe）極（jí）其重要（yào）的作用，被廣泛應用於各種材料的形態結（jié）構、界麵狀況、損傷機（jī）製及材料性能預測等方麵的研究。利用掃描電鏡可以直接研究晶體缺陷（xiàn）及其產生過程，可以觀察金屬材料內部原子的集結方式和它們的真實邊界，也可以觀察在不同條件下邊界移動的方式，還可以檢查晶（jīng）體在表麵機械加工中引起的損傷和輻射損傷（shāng）等。

真空係統在掃描電鏡中具有（yǒu）什麽產品特點呢？

應用（yòng）於掃描電鏡的真空係統（tǒng）具有製樣簡單（dān）、放大倍數可調範圍寬、圖像的分辨率（lǜ）高、景深大、保真度高、有真實的三維（wéi）效應（yīng）等特點，對於導電材料，可直接放入樣品室進行分析，對於導電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導電（diàn）層。

真空係統主要包括（kuò）真（zhēn）空泵和真空柱兩部（bù）分。真空柱是（shì）一個密封的柱形容器（qì）。真（zhēn）空泵用來在真空柱內產生真（zhēn）空。有機械泵、油擴散泵以及渦輪分子（zǐ）泵三大類，機械泵加油擴散泵的（de）組合可以滿足（zú）配（pèi）置鎢燈（dēng）絲槍的掃描電鏡的真空要求，但對於裝置了場致（zhì）發射槍或六硼化鑭及（jí）六硼化鈰槍的掃描電鏡（jìng），則需要機械泵加渦輪分子泵的組合。成象係統和電子（zǐ）束係統均內置在真空柱中。真空柱底端即為右圖所示的樣品室，用於（yú）放置樣品（pǐn）。

掃描電鏡可粗（cū）略分為鏡體和電源電路係統兩（liǎng）部分。鏡體部分由電子光學係統（tǒng）、信號收集和顯示（shì）係統以（yǐ）及真空抽氣係統組成。東莞真空係統的作用（yòng）是為保證（zhèng）電子（zǐ）光學係統（tǒng）正常工作，防（fáng）止（zhǐ）樣品汙（wū）染，一般情況下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。

掃描電鏡需要真空的原因（yīn）包括：一是電（diàn）子（zǐ）束係統（tǒng）中的（de）燈絲在普通大氣中會迅速氧（yǎng）化而失效，所以需（xū）要抽真空。二是為了增大電子的平（píng）均自由程，從（cóng）而使得用於成象的電子更多。

99色在线观看真空係統在掃描電鏡中的（de）應用，能夠靠電子束掃描物體表麵來成像的（de）。空（kōng）氣的存在會使的電子束（shù）變型，影響掃描效果，因此需要使用到真空（kōng）係統抽真空。如果對99色在线观看真空係統感（gǎn）興（xìng）趣的話，都可（kě）以（yǐ）撥打我司的客戶熱線。