進口真空泵維修廠（chǎng）家表示（shì）真空係統的日常維護十分重要，可避免在出現故障時手足無措、並（bìng）能盡快排除故障使設備正常運轉。東莞市99色在线观看真空科技有（yǒu）限公司通過以下內容對真空係統的主要部件維護作簡單（dān）的介（jiè）紹，同時，針對真空係統出現故障情況分析其原因以及（jí）真空泵維修之真空係統故障排除的方法，也會整理出來提供給各位進行參考一下的。

真空（kōng）泵維修一：真空係統的主要部件（jiàn）及維護方法（fǎ）

1、旋（xuán）轉泵：要定期檢查旋轉泵的油平麵，及時補充油確保泵運轉正常。泵皮帶（dài）用久後容易打滑，可適量加些皮帶脂或稍調節皮帶鬆緊度，可延長皮帶壽命。

2、擴散泵：擴散泵的工作性能好壞是決定電鏡（jìng）獲得高真空的關鍵，而影響擴散泵性（xìng）能的主要（yào）原因是油質的下降和油量的減少為了（le）減少擴（kuò）散泵油的揮（huī）發和（hé）碳（tàn）化，平時儀器要定期抽真空，換樣品時（shí）盡量減少樣品室在大氣中停留的（de）時間，關機後一般要十分鍾（zhōng）後才停冷卻水；有條件的冷卻最好采用循環水箱和去離子水，以減少水（shuǐ）垢的形成，保持冷卻性能；擴散泵（bèng）油在正常情況下（xià）可連續使用十年。

真空泵維修二：真空係統故障原（yuán）因

（1）低真空正常，高真空上不去。儀器（qì）在正常使用中光柵突然出現（xiàn）閃爍，立即關高壓後控製麵（miàn）板指示燈除 POWER亮，其餘（yú）都熄滅，真空度下降。數分鍾後用控製麵板上的檢測器測真空度（ⅤAC）電流一直（zhí）在025mA.未聽見高真（zhēn）空（kōng）主閥（fá）啟（qǐ）動的聲音。查K板PD、HVAC指示燈熄（xī）滅，抽真空程（chéng）序不能正常進行。從故障（zhàng）現象看引起儀（yí）器不正常的原因是：擴散泵（bèng）工作不正常；計算機真空（kōng）控製部分失控。

（2）儀器自動關（guān）機，處於保護狀態：一開機 POWER指示燈亮，機械泵響聲正常，15分鍾（zhōng）左右擴散泵（DP）指示燈亮，不（bú）久PREEⅤAC、EVAC指（zhǐ）示燈亮，一會PREEⅤAC、EVAC指示燈滅，馬上PREEⅤAC、EVAC指示燈又亮，然後儀器自動關機處於保護狀態。引起此故障的原因有（yǒu）下列幾種情況：a.主電源電壓不正常；b.真空係統不正常； c.高壓電路故；d.計算機邏輯控製電路故障等。

真空泵維修三：真（zhēn）空係統故障排除方法

（1）檢查發現進出口冷卻水溫度一樣，用手（shǒu）輕摸擴（kuò）散（sàn）泵有餘熱，估計是加熱器或加熱電路有問（wèn）題，測加熱電路正常，拔下加熱器（qì）插頭，測二端電阻為∞，說明擴散泵加熱器損壞，換上加熱器真空係統恢複正常。

（2）經檢查發現故障（zhàng）是擴散泵冷卻（què）水溫度檢測器損壞造起，更換溫度檢測器後故障排出。

要保持真（zhēn）空係統的良好性能，必須保證係統的暢（chàng）通清潔，首先，做（zuò）好儀器的使用狀況和維護記錄，每次開機都要注意查看儀器運轉是否（fǒu）正常。這就是真空泵維修之真空係統（tǒng）故障排除最佳的方法，而且減少後續的人力（lì）物（wù）力財力。隻需要在使用（yòng）的過程中花費一點點（diǎn）時間進行檢查，真空係統運行的時候就可以有一點保障了。