氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域裏不可缺少的一（yī）種技術，由於檢（jiǎn）漏效率高，簡便易操（cāo）作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的幹擾，在電阻爐（lú）檢漏中得到（dào）了廣泛應用（yòng）。氦質譜檢漏儀的真空（kōng）係統是由哪些設備（bèi）組合而成的（de）呢？氦質譜檢漏儀的分類和正確的保養（yǎng）方（fāng）法都是本篇文章重點介紹的內容，當然，還要（yào）給大家闡述下真（zhēn）空係統在氦（hài）質譜檢漏儀中的應（yīng）用情況。

氮（dàn）質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用於檢漏的儀器，由離子源、分析（xī）器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜（pǔ）室和抽（chōu）氣係統及電氣部分（fèn）等組（zǔ）成。其分類有：①單級（jí）磁偏轉型氦質（zhì）譜檢漏儀，②雙級串聯磁偏轉型氦質譜檢漏儀，③逆流氦質譜檢漏儀這三種。

氦質譜檢（jiǎn）漏儀的優勢特點

1.采用便攜式設計

2.設備外型美觀小巧

3.采用液晶觸摸屏（píng）設計

4.有通訊接口（kǒu）

5.可以方便地將檢漏數據輸出

關於真（zhēn）空係統在氦（hài）質譜檢漏儀中（zhōng）的應用情況，由東莞市99色在线观看真空科技（jì）有限公司進行整（zhěng）理。

氦質譜檢漏儀的真空係統部分由（yóu）分子泵、前級機械（xiè）泵組成。

99色在线观看真空係統的特點為：

1.低噪音、低振動。

2.空氣冷卻，方便容易。

3.在高（gāo）溫（wēn）環境（jìng）下仍良好運作。

4.在低真（zhēn）空壓力下仍保持良好抽氣速度。

5.內置濾心和過濾（lǜ）器，可（kě）達高度（dù）過濾效果（guǒ）。

6.內置單向閥門，防止真空油逆流。

7.結構簡單，體積小，節省空（kōng）間。

8.多功能（néng）概念，可配合客（kè）戶的特別（bié）配置。

9.容易保養。

在常規檢測時通常由前級機械泵對被檢件預抽真空，當真空度達到一定壓力後，再進入真空（kōng）係統部分；被檢件在檢測前會被要求進行（háng）清潔（jié）前處理，以防止粉塵、顆粒物等汙（wū）染物進入真（zhēn）空係統；否則將直接汙染（rǎn）真空係統，甚至造（zào）成真（zhēn）空泵損壞（huài）；所以被檢件的清潔前處理及（jí）對設備自身（shēn）定期的（de）保養清理（lǐ）尤為重要。

設備自身保養小（xiǎo）知識

（1）前級真空泵的定期換油及深度保養；

（2）電磁閥組（zǔ）的（de）超聲清洗（xǐ）；

（3）質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養維護。

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