東莞市（shì）99色在线观看真空科技有限公司旗下的（de）旋（xuán）片真空泵以清潔無汙染，而且擁有較寬（kuān）的抽速範圍以及良好的節能、穩定（dìng）、易維護等優勢廣（guǎng）泛應用於半導體行（háng）業，半（bàn）導體工藝（yì）用真（zhēn）空主（zhǔ）要用在蒸發，濺射，PECVD，真空幹（gàn）法刻蝕， 真空吸附，測試設備，真（zhēn）空清掃等等鍵（jiàn）合工序，今（jīn）天99色在线观看的技術人員來給（gěi）大家普及一下旋片真空泵在（zài）半導體工藝中的應用不可忽視（shì）的安全問題。

半導體材料可以分為元素半導體和化合物半導體（tǐ）兩大類，元（yuán）素半導體指矽、鍺單一元素形成的半導體，化合（hé）物（wù）指砷化镓、磷化銦等化合（hé）物形成的半導體。砷化镓的電子遷移速率比矽高5.7倍（bèi），非常適合用於（yú）高頻電路。

半導體生產製造過（guò）程中容易產生（shēng）易燃易爆以及有毒的物質氣體，會對生產及人員安全造成威脅，因此，旋片真空泵在半導體（tǐ）工藝中的應用時需（xū）要注意的幾個安全事項（xiàng）主要有以下幾（jǐ）點內容：

1、定期清洗旋片真空泵及其他附件、過（guò）濾、管道（dào），避免超壓；

德國旋片真空泵在半導體中應用時，抽取介質過程中經過反應（yīng）室與真空泵，其（qí）成分可能極為複雜，如SiH4與O2在泵（bèng）口形成SiO2，TiCl4水解會（huì）形成HCl；假設（shè）是油封式機械泵，這些氣體物質（zhì）還可能與泵（bèng）油發生化反。這些變化假設形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質，就可能堵塞真空泵或管路係統，影響真空泵性能，造成壓力上升或超（chāo）壓，第一點中提到的（de）危險性也更大。所以需要及時的清洗，並在必要的（de）時候設置過濾設備（bèi）。

2、有效稀釋有害氣體的（de）濃度；

半導體易產（chǎn）生前麵所說的（de）易燃易爆、有毒的有害氣體。所以半導體用真空泵應用過程中，在抽取這些介質時就必須防止它們在真空（kōng）泵內或者排氣過程中發生一些不可控的反應。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質，在與空（kōng）氣或（huò）氧接觸的時候，會引起（qǐ）燃燒甚至（zhì）爆炸；氫（qīng）氣在空氣中的混合比例達到一定程度與溫度時也會（huì）發生燃燒。這些都取決於該物質的量以及與（yǔ）環（huán）境的壓力（lì）、溫度的關係。因此半導體真（zhēn）空泵在抽（chōu）取這些介質時（shí），需要用氮氣之類的惰性氣體，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當時（shí）條件下的安全範圍。

3、注意（yì）氧氣的濃度；

空氣中的（de）氧如（rú）果濃度（dù）過高也（yě）會發生燃燒及爆炸風險。所以一些情況下需注意氧的濃（nóng）度，采用（yòng）惰性氣體來稀釋，防止（zhǐ）濃度過高；假設是油（yóu）封機械（xiè）泵可能還需（xū）要采用一（yī）些惰性的與氧相容的真（zhēn）空泵油，並及時更換油濾和油品。

4、防（fáng）止溫度（dù）過高；

半導體在真空（kōng）泵的（de）應用中，有害氣體比較多，而無論是幹式真空泵還是油封機械泵（bèng），泵腔內溫（wēn）度過高，高溫下易（yì）燃易爆及有毒氣體就會容易發生危險。

以上（shàng）四個方麵就是旋片真空泵在半導體工藝中的應用過（guò）程中最主要的幾個安全事項，我們一定不（bú）可忽視，技術人（rén）員說小問題對運轉、產量、效率和安全都有聯係（xì），如果想要工（gōng）作更加的順（shùn）利，我們應該延長真空泵的使用壽命，努力協調平衡，保證效率與安全（quán）。